I. Методы очистки аргона:
Первый тип
Прямая деоксидация: данный метод заключается в реакции активных металлов или катализаторов с кислородом, содержащимся в аргоне, что позволяет устранить его содержание и добиться деоксидации. В дальнейшем для поглощения влаги из аргона применяются молекулярные сита, благодаря чему содержание воды в газе снижается до уровня менее 1 ppm.
Второй тип
В нём используется сорбирующий материал. При определённой температуре этот сорбент способен поглощать такие газы, как азот, водород, кислород, оксид углерода, диоксид углерода и метан. После прохождения этого процесса степень чистоты аргона может достигать 6 девятизначных единиц. Газы высокой чистоты, получаемые по этому методу, подходят для широкого спектра приборов и измерительных устройств.
Первый метод требует небольших капитальных вложений, тогда как второй обеспечивает высокую степень чистоты очистки, но сопряжён с относительно более значительными инвестициями.
2. Технические параметры:
1. Пропускная способность по технологическому газу: 5–3000 нм³/ч (нестандартное оборудование может быть изготовлено по индивидуальному заказу в соответствии с требованиями пользователя)
2. Требования к сырому газу: можно использовать как жидкий аргон, так и высококачественный аргон из трубопровода.
3. Рабочее давление регулируется в диапазоне от 0,2 до 1,6 МПа.
4. (Очиститель аргона) Эффективность очистки: после очистки степень чистоты соответствует и превышает требования 99,9996%, установленные в стандарте GB/T 4842‑2006.
Чистота газа (%) H2 (ppm) O2 (ppm) N (ppm) CO2 (ppm) CH4 (ppm) Точка росы (H2O)
Чистый аргон 99,9996 ≤0,5 ≤0,5 ≤0,5 ≤0,5 ≤0,5 ≤1,5
3. Особенности оборудования:
1. Очиститель отличается превосходной адсорбционной способностью и высокой степенью поглощения примесных газов, при этом степень чистоты превышает 99,99999%.
2. Очиститель оснащён специальной конструкцией и методом загрузки, а также обладает грамотно спроектированной скоростью потока и равномерным распределением воздушного потока.
3. Все трубопроводы представляют собой прецизионно вытянутые трубы, соответствующие требованиям класса BA как внутри, так и снаружи. Для полного исключения вторичного загрязнения газа при его движении по системе трубопроводов применяются импортные шаровые краны компрессионного типа.
4. Двухступенчатая конструкция: после запуска одна установка работает, тогда как другая проходит регенерацию и остаётся в режиме ожидания. Кроме того, полуавтоматические установки очистки серии RZ‑YA‑C автоматически осуществляют как эксплуатацию, так и регенерацию, обеспечивая непрерывную подачу газа; это означает, что одна такая установка может эффективно заменить две одноступенчатые.
5. Функциональное описание полностью автоматической установки очистки аргона серии RZ‑YA‑D, выпускаемой нашей компанией:
A. Устройство обладает полностью автоматическим режимом работы и простым управлением: для запуска и остановки машины достаточно нажать всего две кнопки — не требуется поворачивать никакие клапаны. Все эти операции выполняются автоматически программой ПЛК. Это также исключает загрязнение газа, возникающее из‑за человеческого фактора в ручных и полуавтоматических моделях, обеспечивая более стабильное качество чистого газа.
B. Контроллер отображения текста оснащён совместным брендом — 7‑дюймовым сенсорным ЖК‑экраном компании Kunluntongtai, — который обеспечивает в режиме реального времени визуализацию статуса рабочего процесса и отображение различных параметров, а также позволяет в любой момент корректировать каждый из них, что значительно упрощает работу персонала.
C. Онлайн‑анализатор может быть оснащён в соответствии с потребностями пользователя для проведения мониторинга в режиме реального времени и непрерывного контроля в потоке.
4. Области применения:
Данная серия установок по очистке аргона применяется на станциях заправки газами высокой чистоты, в сварочных работах, при производстве нержавеющей стали и в металлургии. Она также используется в технологических процессах полупроводникового производства — таких как химическое осаждение из паровой фазы, выращивание кристаллов, термическая оксидация, эпитаксия, диффузия, получение поликристаллического кремния, осаждение вольфрама, ионная имплантация, транспорт носителей и спекание, — где аргон выступает в качестве защитного газа при производстве как монокристаллического, так и поликристаллического кремния.